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材料科学与工程的发展
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材料科学与工程的发展
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2012年
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纯净的离子光束:质谱分析和仿真和大规模干扰离子注入
图1
布局的beamline从离子源离子注入机分析仪磁铁。beamline分为三个部分的[Src-Ex], [Ex-Gnd], [Gnd-An]。离子束产生二次电子加速的部分[Src-Ex]和[Ex-Gnd]。