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研究文章

晶圆制造过程中多响应质量问题的模糊TOPSIS

表2

每个质量响应的模糊权重。


响应	模糊的重量

缺陷数量	= (0.8286, 0.8052, 0.8081)
密度	= (0.0460, 0.0520, 0.0511)
沉积速率	= (0.1254, 0.1428, 0.1408)

年度文章奖:由主编评选的2020年杰出研究贡献。阅读获奖文章．