垂直各向异性L1高场线性磁电阻传感器₀-FePt参考层

(a) MgO衬底上Pt(4)/FePt(15)/ZnO(5)/Fe(5)/Pt(3)多层膜原理图;(b) L1的芯层示意图₀-FePt /氧化锌/ Fe。磁化方向有箭头标记，外加磁场垂直于膜面;(c) Pt(4)/L1的XRD谱图₀-FePt(15)双层薄膜;(d) Pt(4)/L1的SEM图像₀-FePt(15)双层膜表面。