研究文章
模态分析的单一结构Multiaxis MEMS陀螺仪
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| 传感参数 |
| 品质因数= 2500 |
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陀螺 |
| 频率() |
变化的频率
( |
刚度() |
惯性矩() |
陀螺仪传感春天 |
| 长度 |
宽度 |
|
| 13407赫兹 |
101赫兹 |
纳米 |
kgm2 |
776年μ米 |
3.5μ米 |
|
|
陀螺 |
| 频率( |
变化的频率
( |
刚度() |
惯性矩() |
陀螺仪传感春天 |
| 长度 |
宽度 |
|
| 13515赫兹 |
209赫兹 |
纳米 |
kgm2 |
776年μ米 |
3.5μ米 |
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|
陀螺 |
| 频率( |
变化的频率
( |
刚度() |
质量 |
陀螺仪传感春天 |
| 长度 |
宽度 |
|
| 13515赫兹 |
209赫兹 |
43.8 N / m |
公斤 |
174年μ米 |
3μ米 |
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