杂志上的传感器
研究文章

模态分析的单一结构Multiaxis MEMS陀螺仪

表2

机械传动参数的设计。
驱动参数
频率 刚度( ) 质量 推动品质因数 耦合弹簧
长度 宽度
13306赫兹 669 N / m 公斤 2500年 195年μ米 4.5μ米