杂志上的传感器

研究文章

模态分析的单一结构Multiaxis MEMS陀螺仪

图6

设计没有z字形梁耦合弹簧()。最终需要模式频率13536赫兹,而不必要的模式(未来所需的最终模式)频率是14361 Hz, 825 Hz的差异。