杂志上的传感器
研究文章

模态分析的单一结构Multiaxis MEMS陀螺仪

图5

设计与z字形梁耦合弹簧( )。最终需要模式频率13515赫兹,而不必要的模式(未来所需的最终模式)频率是15587 Hz, 2072 Hz的差异。