杂志上的传感器
研究文章

模态分析的单一结构Multiaxis MEMS陀螺仪

图4

春天结束的耦合弹簧压力影响。(一)设计与z字形弹簧的耦合弹簧。压力效应是减少弹簧末端连接到传动质量。(b)没有春天的z字形梁耦合设计。大应力作用时•冯•米塞斯应力已经应用在驱动模式。
(一)
(b)