杂志上的传感器
研究文章

模态分析的单一结构Multiaxis MEMS陀螺仪

图3

共振四个模式提出的设计要求。(一)驾驶模式,(b) 敏感技术模式,(c) 敏感技术模式,(d) 敏感技术模式。
(一)
(b)
(c)
(d)