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| 项 |
电压供应 |
供电 |
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| 喂养信号幅度 |
3.5 V (3.5) |
23.0 mA (24.0) |
| 变压比 |
从0.48 (0.54)到1.69 (1.66) |
从0.48 (0.54)到1.70 (1.66) |
| 比率计范围 |
从(−−0.580。50)到0.57 (0.50) |
从(−−0.570。5)到0.57 (0。5) |
| 电压摆幅(V) |
4.30 (3.90) |
4.35 (3.90) |
| 非线性误差(%) |
1.11 (0。7)(−20毫米,20毫米)
0.14 (0.11)(−10毫米,10毫米) |
1.12 (0。7)(−20毫米,20毫米)0.15 (0.11)(−10毫米,10毫米) |
| 一次电压可重复性(mV) |
0.8(无干扰)
2.5(干扰) |
1.5(无干扰)
8(干扰) |
| 二次电压可重复性(mV) |
1.6(无干扰)
2.9(干扰) |
2.1(无干扰)
8.8(干扰) |
| 测量位置的不确定性(微米) |
11(无干扰)
15(干扰) |
13(无干扰)
52(干扰) |
| 位置偏移值(微米) |
从71年(72年44 (−−)72年) |
从58 (72年25 (−−)72年) |
| 位置漂移不确定性(微米) |
19 |
55 |
| 协议与模拟(特性曲线)(%) |
> 85年(−20毫米,20毫米)
> 95年(−10毫米,10毫米) |
> 86年(−20毫米,20毫米)
> 92年(−10毫米,10毫米) |
| 协议与模拟(比率计)(%) |
> 83 |
> 84 |
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