研究文章

Micro-Optoelectromechanical倾斜传感器

图7

μ μ μ 缩影照片倾斜传感器的电子在AMS 0.35实现米2 p4m CMOS技术。尺寸是:1250m×1250m(核心),2.5毫米×2.5毫米死维度,也就是说,包括神父和bondpads(没有显示)。
782764. fig.007