研究文章

Micro-Optoelectromechanical倾斜传感器

图10

° 顶级瞬态模拟的倾角−15。结果显示(a) lh地平线总线(位),(b) lh地平线输出(位),(c) RHS地平线总线(位),(d) RHS地平线输出(位)、(e)减法结果(6-bit), (f)最终输出(6-bit) (g), (h) - (k),(l)供电,供电的(m)积分。
782764. fig.010