纳米技术杂志》
研究文章

大规模的大气紫外Nanoimprinting分步重复

表2

印记的条件。
Spin-coated树脂烘焙后厚度 120海里
Photo-curable树脂粘度 12000 mPa·年代
印记的压力 2电影
印迹滚筒进料速度 1μ米/秒
印迹总紫外线曝光
1循环紫外线曝光时间		 360 mJ /厘米2
12个年代
RIE过程气体 C4F8,科幻小说6
RIE射频功率 500 W
RIE过程时间 180年代