纳米技术杂志》
研究文章

大规模的大气紫外Nanoimprinting分步重复

表1

印迹条件165模具的制造。
Spin-coated树脂厚度 200海里
光固化树脂粘度(低)
光固化树脂粘度(高)		 1200 mPa·年代
12000 mPa·年代
印记的压力 2电影
滚筒进料速度 1μ米/秒
总紫外线曝光
1循环紫外线曝光时间		 30 mW /厘米2
12个年代
总加工时间
1循环制造时间		 3.4 h
74.2秒
印迹温度 室温