研究文章

大规模的大气紫外Nanoimprinting分步重复

图8

之间的残留层厚度比较高,低粘度树脂。与高粘度树脂残留层厚度均匀性是在30 nm±10%;与低粘度树脂残留层厚度均匀性大于50 nm。
103439. fig.008