制造165年死在硅衬底的分步重复紫外线nanoimprinting在大气压力下:(a) 165年制造模具使用高粘度树脂(整个地区),165 (b)制造模具使用低粘度树脂(整个地区),(c) 165年制造使用高粘度树脂模具,和(d)使用低粘度树脂制造165年去世。