研究文章

大规模的大气紫外Nanoimprinting分步重复

图6

残留层的不均匀性和印迹压力之间的关系:与低粘度树脂、边缘区域没有压力取决于印记;高粘度树脂,边缘区域内10%使用一个印记≥2 MPa的压力。
103439. fig.006