研究文章

大规模的大气紫外Nanoimprinting分步重复

图5

检查残留层的不均匀性的灰度直方图:(a)参考灰度直方图,与低粘度树脂(b),残留层的不均匀性为71%,与middle-viscosity树脂(c),残留层的不均匀性是49%,(d)和高粘度树脂、残留层的不均匀性是5%。
103439. fig.005a
(一)
103439. fig.005b
(b)
103439. fig.005c
(c)
103439. fig.005d
(d)