横截面扫描电镜图片:(a) 80纳米线和160纳米空间被紫外线nanoimprinting硅衬底上形成在大气压力下,(b) 100 nm和100行空间被紫外线nanoimprinting硅衬底上形成在大气压力下,(c) 80纳米线和160纳米空间捏造了深紫外nanoimprinting RIE系统后,(d) 100纳米线和100纳米空间捏造了深紫外nanoimprinting后RIE系统。