阳极氧化铝直接用作纳米压印光刻模具的探索，以制造大面积磁纳米结构

₂ 〜 ₂ SEM（a）aao模具的平面图图像;插入孔径是孔径分布，（b）通过使用没有SiO的模具的模具印迹抗蚀剂涂层;插图是指示区域的放大视图，（c）通过使用模具具有薄的模具的印迹抗蚀剂柱2-3 nm siO.涂层。右上角和左下角的插入分别是抗蚀剂柱直径的放大视图和分布。