研究文章
探索直接使用阳极氧化的铝作为Nanoimprint光刻制造的模具在大面积磁纳米结构
图1
2
0
示意图的制作FePt的结构采用阳极氧化氧化铝(氧化铝)模具。(a)沉积铝薄膜在硅晶片,(b)制造的氧化铝和涂层薄SiO和山姆层,(c)制造的L1下令FePt薄膜,(d)旋转涂布的抵制FePt薄膜,(e) nanoimprinting demolding (f) (g)去除残留层的反应离子刻蚀(RIE)和模式的转移到由氩离子铣FePt薄膜,和(h)切除抵制离开FePt支柱在衬底上。
![]() |
