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2011年
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用石英管作为缓蚀剂Nanocontainers存储
表1
二氧化硅粒子和抑制剂内容准备。
固体百分比
硅(g)
抑制剂(g)
石英+抑制剂(g)
抑制剂(ppm)
2.5%
0.0010
0.0015
0.0025
1.5
5.0%
0.0019
0.0031
0.0050
3.1
7.5%
0.0028
0.0047
0.0075
4.7
10%
0.0038
0.0062
0.0100
6.2