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光学制造和表面微结构的研究进展修改原文如此

表4

RB-SiC热力性能和Si (16]。

材料 α/ (ppm / K) / (W /可) α/ α/

RB-SiC 2.4 170年 80年 0.014 0.03
如果 2.6 156年 89年 0.017 0.029