杂散光的光学特性的计算结果显示(a)杂散光的叠加两个反射镜和(b)杂散光的叠加四反射镜。从多个反射镜将产生杂散光干扰调制,并干扰调制的最大订单是4次。因此,杂散光的影响分析和控制设计、调制系数,应该乘以其强度。最大影响的评估可以在最大调制系数乘以4。