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| 方法 |
关键设备 |
优势 |
缺点 |
压力精度 |
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| DP |
偏振相机,图像传感器 |
自动的,高分辨率 |
复杂性、不灵活性 |
184 kPa(4海里/厘米) |
| PEM |
光弹调制器 |
高灵敏度、高速度,稳定性好 |
有限的测量范围 |
0.2 kPa (0.008 nm /厘米) |
| LDV |
激光多普勒振动计 |
高灵敏度,可视化好,稳定性好 |
无法直接检测横波 |
0.036 Pa |
| 大规模集成电路 |
激光自混合干涉干涉仪 |
简单,成本低,广泛 |
有限的测量精度 |
0.152 nm /厘米 |
| LFI |
激光反馈干涉 |
简单,成本低 |
有限的测量精度 |
19 nm /厘米 |
| CRD |
光源、光学谐振腔 |
灵敏度高,范围广泛 |
低的工程适用性 |
0.03 kPa (12×10−4nm /厘米) |
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