2月2日-德默斯，欧大豪亨德里克斯，铃木爱胜，山崎和彦，Sadao PY-2020 DA-2020/03/31 TI-将快速扫描方法与数字图像处理技术结合作为扫描电子显微镜SP-4979431 VL-2020 AB的标准采集模式-本研究提出了一种高效快速的扫描方法（例如，电视（TV）扫描）结合数字图像处理技术，取代传统的慢扫描模式，成为通用扫描电子显微镜（SEM）的标准采集模式。使用该方法获得的SEM图像在清晰度和噪声方面与慢扫描图像具有相同的质量，并且能够抑制在全真空条件下充电的不利影响，这是该领域的一个挑战性问题。设计该方法需要解决两个问题。一个是使用基于电视扫描图像频率特性的逆滤波器对图像质量进行适当补偿，另一个是设计一种精确的图像积分（噪声抑制）技术，其位置对准对噪声具有鲁棒性。这涉及到使用图像蒙太奇技术和估计集成所需的图像数量。我们的电视扫描模式的最终结果与慢扫描图像以及传统电视扫描图像进行了比较。SN-0161-0457 UR-https://doi.org/10.1155/2020/4979431 DO-10.1155/2020/4979431 JF-扫描PB-印度群岛KW-ER-