TY -的A2 Yoshimura正盟——刘陆盟——徐,建国盟——张,瑞盟——吴,森盟——胡爱盟——胡答PY - 2018 DA - 2018/07/19 TI -三维原子力显微镜对井壁成像使用扭转共振模式SP - 7606037六世- 2018 AB -本文介绍了原子力显微镜(AFM)技术,真正的三维(3 d)表征。悬臂探针与喇叭提示使用自制3 d-afm系统。悬臂是由两个振动压电陶瓷和绕着它的垂直或扭转共振频率的振荡。垂直共振模式用于上表面成像,和扭转共振模式用于井壁检测。3 d-afm应用于测量标准光栅与100 nm和200 nm的高度。3 d-afm给出的实验结果表明,该技术能探测陡峭的侧壁上的小缺陷特征和重建三维地形测量的结构。SN - 0161 - 0457 UR - https://doi.org/10.1155/2018/7606037 - 10.1155 / 2018/7606037摩根富林明扫描PB - Hindawi KW - ER