鑫盟TY -的A2 Liu - Yu,宁非盟——只是,Masahiro AU -史,清AU -杨,詹AU -王,华平盟——太阳,希望非盟-黄,羌族非盟-福田,Toshio PY - 2017 DA - 2017/02/13 TI -表征碳纳米管/金属的电阻和力量方面接触纳米操作SP - 5910734六世- 2017 AB -高接触电阻限制了碳纳米管(碳纳米管)的应用场效应晶体管(fet)的制造。因此,重要的是要减少接触电阻和调查的关键影响因素,如接触力和接触长度。本研究使用纳米操作描述电阻和力量在CNT /非盟side-contact接口在扫描电子显微镜(SEM)。双端问操纵方法和模型计算阻力和接触面积的力量,提出了指导总电阻的测量实验和悬臂梁的弹性变形。实验结果表明,CNT /非盟界面的接触电阻很大时(189.5 kΩ)范德华力(282.1 nN)占据了界面接触力。Electron-beam-induced沉积(EBID)然后进行降低接触电阻。EBID存放7分后,电阻下降到7.5 kΩ,至少增加到1339.8 nN和力量。阻力和力在问的接触面积是固定的展览负指数相关EBID之前和之后。这种相关性与先前报道的好协议验证该机器人系统和方法描述了接触电阻和力量。SN - 0161 - 0457 UR - https://doi.org/10.1155/2017/5910734 - 10.1155 / 2017/5910734摩根富林明扫描PB - Hindawi KW - ER