TY -的A2沈Yajing盟——周,曹国伟AU -邓,长非盟-曹,陆盟- Cheng志强AU -王,说非盟- Tan,敏PY - 2017 DA - 2017/06/19 TI -自动轴对齐Nanomanipulator在扫描电镜及其误差优化SP - 3982503六世- 2017 AB -在探索纳米结构的运动,重复位置和运动是经常发生失败的位置误差和宽容是严格的。操纵者轴和图像之间的一致性是非常重要的因为视觉伺服自动操纵的是最重要的工具。提出了一个自动轴对齐为nanomanipulator在SEM方法识别闭环控制末端执行器的位置,可以描述这两个轴之间的关系,然后据此可以计算旋转矩阵。这种方法的误差及其传递函数也比较迭代法和平均法计算。本文中的方法可以加速轴对齐,避免过程中电子束诱导沉积影响技巧。试验示范表明,精度可以达到0.1度90秒。SN - 0161 - 0457 UR - https://doi.org/10.1155/2017/3982503 - 10.1155 / 2017/3982503摩根富林明扫描PB - Hindawi KW - ER