TY -的A2 Yoshimura正盟——陈,徐盟——郭腾飞AU -侯,Yubin盟——张,京盟——孟蕴结AU - Lu, Qingyou PY - 2017 DA - 2017/11/14 TI -高刚度和精度扫描隧道显微镜与解耦和扫描SP - 1020476六世- 2017 AB -一个新的扫描头扫描隧道显微镜(STM)的结构,提出了扫描精度高、刚性。的核心结构由压电管扫描器象限(类型 X Y 扫描)安置在一个压电管同轴单内外电极( Z 扫描)。他们是固定的一端(称为共同结束)。一个空心轴同轴安置在钽 X Y 扫描管他们是相互固定的两端。当 X Y 扫描仪扫描,其自由端将轴扫描和插入到轴同轴相连的技巧常见的一端将扫描一个较小的区域,如果提示突出足够短的常见的结束。解耦的 X Y 和 Z 扫描所需的较低的图像失真和机械减少扫描范围的优势减少扫描仪上的背景电子噪声的影响,提高定位精度。高质量的原子分辨率的图像也显示。SN - 0161 - 0457 UR - https://doi.org/10.1155/2017/1020476 - 10.1155 / 2017/1020476摩根富林明扫描PB - Hindawi KW - ER