TY -的A2 Kaplunov朱利叶斯AU - Di Maida, p . AU -比安奇,g . PY - 2016 DA - 2016/11/08 TI -数值调查拉片不稳定的微动电门MEMS装置通过采用伪谱方法SP - 8543616六世- 2016 AB -伪谱近似给出了解决问题的拉片悬臂微动电门不稳定。广为人知,但拉片不稳定时产生作用力达到临界阈值超过此平衡不再是可能的。特别是,库仑静电力量被认为是,尽管该方法可以很容易地推广到占边缘以及卡西米尔效应。数值比较提出了伪谱和有限元(FE)近似的问题,这两种方法都使用相同数量的自由度。结果表明,伪谱方法似乎更有效准确地逼近其尖端附近悬臂的行为。这个事实是至关重要的捕获阈值电压拉片的边缘。相反,菲近似呈现快速交替吸引根据地。/地区沿悬臂,不局限于附近的拉片政权。SN - 1687 - 5591 UR - https://doi.org/10.1155/2016/8543616 - 10.1155 / 2016/8543616摩根富林明建模和仿真工程PB - Hindawi出版公司KW - ER