TY - A2的歌,Aiguo AU -阿卜杜勒Mokti穆罕默德Irsyad盟,Abd Rahim Inzarulfaisham PY - 2012 DA - 2012/12/17 TI -模拟研究MEMS电容式弯曲应变传感器的灵敏度性能脊柱融合监测SP - 614070六世- 2012 AB -本研究评估微机电系统(MEMS)的敏感性电容与双层悬臂弯曲应变传感器设计用于满足脊柱融合监控的要求。传感器由两个平行的悬臂结构衬底板块构成电极,连接到锚由二氧化硅组成的。传感器可以监测弯曲应变值从0到1000不等 με。为了评估传感器的灵敏度,参数研究是由不同电极间距、锚固长度、和电介质覆盖在电极之间。名义上的电容式压力传感器灵敏度为各种应用程序从255 aF / με0.0225 pF / με。观察增加敏感性降低电极间距和锚长度和增加了介质覆盖,导致0.2513 pF /灵敏度最高的价值 με。也观察到介电常数显著影响传感器的灵敏度的行为。SN - 1687 - 5591 UR - https://doi.org/10.1155/2012/614070 - 10.1155 / 2012/614070摩根富林明建模和仿真工程PB - Hindawi出版公司KW - ER