TY -的A2 Ayag泽克非盟-盖斯,Jurgen盟——Blankenburg斯文PY - 2011 DA - 2011/11/17 TI -等离子体和偏见建模:自洽与低密度氩等离子体静电Particle-in-Cell抽搐SP - 931415六世- 2011 AB -我们激励我们的研究通过模拟粒子薄膜沉积过程的运输由PVD(物理气相沉积)的过程。在本文中,我们提出一个新的模型考虑一个有静电粒子在细胞模型与低密度氩等离子体。碰撞模型为基础讨论了蒙特卡罗模拟在低压直流溅射政权。为了模拟迁移现象在溅射过程实际上,等离子体密度的时空知识和静电场的配置是必要的。由于等离子体密度相对较低,连续流体方程不适用。我们提出一个Particle-in-cell (PIC)方法,它允许等离子体行为的研究通过计算——的尺寸粒子的轨迹外部和自洽电场的作用下定义的网格点。SN - 1687 - 5591 UR - https://doi.org/10.1155/2011/931415 - 10.1155 / 2011/931415摩根富林明建模和仿真工程PB - Hindawi出版公司KW - ER