TY -的A2邵Haidong AU -气,回族非盟- Fu,邢PY - 2022 DA - 2022/03/10 TI -先进制造的原位光谱监测方案小说Nanodevices SP - 4022440六世- 2022 AB - ultra-thin-film的先进制造设备,特别是nano-semiconductor产品,引起了一个重要的研究兴趣在过去几十年。在这个领域,监控半导体的性质和厚度层是至关重要的,对设备质量产生重大影响。在这项研究中,制造业的原位监测方案nanodevices已经提出,这是能够准确地分析半导体的光学吸收特性在nanodevices不同厚度的层。的原位反射率光谱分析单层,双层,体相样品确认监控方案的实用性和可靠性。这个研究报告的调查结果形成先进纳米制造的基础,在未来sub-nanodevices。SN - 1687 - 725 - 2022/4022440 / 10.1155 x你——https://doi.org/10.1155/2022/4022440——摩根富林明——《传感器PB - Hindawi KW - ER