TY -的A2依赖Vincenzo盟——Mahmoodi n . AU - Sabouri a . AU -鲍文,j . AU -安东尼,c . j . AU -门德斯,p . m . PY - 2018 DA - 2018/08/07 TI -力学描述扭转Micropaddles使用原子力显微镜SP - 6160907六世- 2018 AB -参考悬臂法显示作为直接和扭转弹簧常数测定的简单方法。它已经被应用于描述micropaddle结构类似功能化化学传感器提出了共振,共振热探测器。结果表明,该方法可以作为一个有效的过程来描述这些设备的一个关键参数,适用于描述其他类似MEMS / NEMS微镜等设备。在这项研究中,两组micropaddles制造(光束中心和2.5所抵消 μ米)用LPCVD氮化硅衬底。模式是由直接利用聚焦离子束铣。扭转弹簧常数是通过微机械通过原子力显微镜分析。得到的梯度力曲线,micropaddle的面积是扫描,每个像素的行为是调查通过自动化开发的代码。实验结果与理论结果吻合很好。SN - 1687 - 725 - 2018/6160907 / 10.1155 x你——https://doi.org/10.1155/2018/6160907——摩根富林明——《传感器PB - Hindawi KW - ER