TI -一种新的MEMS随机模型降阶方法:MEMS器件的建模和仿真是一项非常复杂的任务，涉及电气、机械、流体和热域。在MEMS作动器稳健设计过程中，由于材料和/或几何参数的不确定性，仍然存在一些需要考虑的不确定性。针对这些问题，提出了随机输入条件下的随机模型降阶方法，便于快速进行时域和频域分析;该方法利用随机输入变量对系统有限元模型矩阵进行多项式混沌展开，然后利用其变换矩阵对模型进行约简;该方法独立于MOR算法，与目前常用的有限元求解方法MOR算法无缝兼容。仿真结果验证了该方法在大规模MEMS设计过程中的有效性。SN - 1687-725X UR - https://doi.org/10.1155/2015/125621 DO - 10.115.2015 /125621 JF - Journal of Sensors PB - Hindawi Publishing Corporation KW - ER -