TY -的A2全Sangmin盟——Mishra罗希特盟——画眉山庄,非盟- Hegner右舵,马丁PY - 2012 DA - 2011/10/19 TI -快速和可靠的激光光束偏转系统校准Microcantilever-Based传感器安装SP - 617386六世- 2012 AB -悬臂制成的传感器设备广泛使用激光光偏转法测量静态悬臂变形量主要与国产设备与个人的几何图形。在扫描探针显微镜相比,悬臂阵列设备没有额外的定位装置如压电阶段。随着悬臂测量中使用越来越敏感,重要的是要有一个简单,快速和可靠的校准有关悬臂梁的挠度的变化位置测量的位敏探测器。这里提供一个简单的方法等校准系统利用商用AFM悬臂梁能量均分定理。SN - 1687 - 725 - 2012/617386 / 10.1155 x你——https://doi.org/10.1155/2012/617386——摩根富林明-《传感器PB Hindawi出版公司KW - ER