TY -的A2巴尔迪尼Francesco盟——Kalambe Jayu p . AU - Patrikar Rajendra m . PY - 2012 DA - 2012/07/15 TI - Microcantilever-Based生物传感器设计数字反馈控制电路SP - 586429六世- 2012 AB -本文提出cantilever-based生物传感器的设计与新读出,它承诺作为快速和廉价的“护理点”设备以及有趣的研究工具。讨论了悬臂式生物传感器的制备工艺及相关问题。通过Coventorware仿真分析了器件的性能。设计了一个完全集成的控制电路来解决制造难题，该电路将负责悬臂梁的定位，而不是在电极之间制造纳米间距。控制电路将解决读数方法面临的制造挑战，这是至关重要的，以保持电极之间的精确间隙。该电路可以考虑由于制造过程而获得的变化，并通过静电驱动保持电极之间的精确间隙。控制电路由模拟模块和数字模块组成。文中还讨论了传感器的可靠性问题。SN - 1687-725X UR - https://doi.org/10.1155/2012/586429 DO - 10.1155/2012/586429 JF - Journal of Sensors PB - Hindawi Publishing Corporation KW - ER -