TY -的A2 Matias Ignacio盟——Constandinou Timothy g . AU -乔治奥,朱利叶斯PY - 2008 DA - 2008/06/09 TI - Micro-Optoelectromechanical倾斜传感器六世- 2008 AB - SP - 782764提出了一种新颖的混合CMOS / MEMS传感器和倾斜 5 ∘ 解决了 300年 ∘ 的范围内。设备使用MEMS-based半圆形质量暂停一个刚体,投射阴影在cmos的光学传感器表面。一维光电二极管阵列排列均匀分段环是用于确定倾斜角通过检测质量半圆形的位置。完整的传感器面积在2.5毫米 × 2.5毫米。SN - 1687 - 725 - 2008/782764 / 10.1155 x你——https://doi.org/10.1155/2008/782764——摩根富林明-《传感器PB Hindawi出版公司KW - ER