曾泰-的A2时,温家宝盟——Calleja塞萨尔AU -托雷斯,阿方索AU - Rosales-Quintero,佩德罗AU -莫雷诺,马里奥PY - 2016 DA - 2016/02/17 TI -非晶硅锗薄膜嵌入纳米晶体的热探测器灵敏度很高SP - 5807940六世- 2016 AB -我们有优化的非晶硅锗薄膜的沉积条件与嵌入纳米晶体在等离子体增强化学气相沉积(PECVD) "反应堆,在一个标准的工作频率为13.56 MHz。的目标是生产电影非常大的电阻温度系数(TCR),这是一个签名热探测器的灵敏度(微型测辐射热仪)。形态、电气和光学特性进行的电影,我们发现最优条件获得电影具有很高的热阻力系数(TCR值K = 7.9%⁻¹)。我们的结果表明,非晶硅锗薄膜嵌入纳米晶体可以作为热敏的电影在高性能红外焦平面阵列(平面芯片)用于商业热相机。SN - 1687 - 9503你2016/5807940 / 10.1155——https://doi.org/10.1155/2016/5807940——摩根富林明-纳米技术杂志PB Hindawi出版公司KW - ER