TY - A2的月亮,Kyoung AU -霍利,贾斯汀m . AU - Lutfurakhmanov,阿图尔非盟-舒尔茨,道格拉斯·l . AU - Akhatov伊斯坎德尔s . PY - 2012 DA - 2012/09/05 TI -回顾Aerosol-Based直写及其应用微电子SP - 324380六世- 2012 AB - Aerosol-Based直写指印花CAD / CAM功能的添加剂过程从一个设备创建一个液体或固体气溶胶梁。直写技术将成为有用的工具在微电子行业快速原型的组件(如互联、传感器、薄膜晶体管(日前),被迅速构思新的气溶胶直写申请。本文旨在回顾直写技术,重点是aerosol-based系统。不同的目前最先进的系统,如气溶胶喷射CAB-DW, MCS,气动镜头。审查和分析背后的物理流体质点的相互作用包括斯托克斯和萨夫曼力,实验观测,以及理论与实验的完整理解如何导致新技术。最后,讨论了微电子气溶胶直写的应用。SN - 1687 - 9503你2012/324380 / 10.1155——https://doi.org/10.1155/2012/324380——摩根富林明-纳米技术杂志PB Hindawi出版公司KW - ER