TY -的A2 Rosei费德里科•AU -李,非盟-史,贾丽芳盟——咚,小春就非盟- Du, Chunlei盟——张、渔洞PY - 2008 DA - 2008/12/14 TI -捏造数组的方法与特征尺寸Nanopatterns超越衍射极限SP - 492478六世- 2008 AB -一个方便的光刻技术提出了本文它可以用于在大面积(约几平方厘米)上产生亚衍射极限的纳米图案阵列。聚苯乙烯球阵列(PS)被安排在一层厚度约为几十纳米的银层的表面。在垂直于衬底的波长为365 nm的正常照明光下，PS可以在与银的接触点产生高强度的光学图案阵列。通过设计银板，携带图样亚波长信息的倏逝波得到了极大的增强，而传播分量受到了抑制。在银的另一侧的光刻胶中，经过曝光显影后，光强被重新分配，得到亚衍射极限图案。通过时域有限差分(FDTD)仿真和实验验证了该方法的有效性。结果表明，使用直径为600 nm的聚苯乙烯，可以得到尺寸小于80 nm的纳米图案。SN - 1687-9503 UR - https://doi.org/10.1155/2008/492478 DO - 10.1155/2008/492478