TY -的A2 -李,永生盟——江,方非盟-刘阎盟-杨,永盟——黄Zheng-Ren AU -李,丹盟——刘Gui-ling盟——刘Xue-Jian PY - 2012 DA - 2012/12/31 TI - SiC的光学制造和表面微结构的研究进展修改SP - 984048六世- 2012 AB - SiC已成为空间的最佳候选人材料镜和光学设备由于一系列良好的物理和化学性质。精细表面光学质量与表面粗糙度(RMS)小于1 nm为精细光学应用程序是必要的。然而,碳化硅陶瓷存在各种缺陷,很难波兰SiC陶瓷矩阵与纳米RMS。表面改性碳化硅陶瓷碳化硅衬底上必须完成。四种表面改性路线包括热压玻璃、C / SiC鼓掌,SiC鼓掌,如果鼓掌在碳化硅表面已报告和审查。表面改性的方法,制备的机理,缺点和优点都集中在本文。在我们看来,PVD Si是碳化硅反射镜的表面改性的最佳选择。SN - 1687 - 4110你2012/984048 / 10.1155——https://doi.org/10.1155/2012/984048——摩根富林明-纳米材料杂志PB Hindawi出版公司KW - ER