TY -的A2 -梅,Shengwei盟——刘,余万盟——刘Kang-Zhi AU -杨,Xiaofeng PY - 2014 DA - 2014/10/21 TI -不愿执行机构的非线性电流控制磁滞补偿SP - 150345六世- 2014 AB -晶圆扫描的下一代好阶段需要一个合适的传动装置来满足高速度的要求,高加速度,和高精度。音圈致动器不再是最好的选择,因为其庞大的规模和散热难以解决。不愿意执行机构可以提供很大的力量基于小体积和低电流的一个独特的属性,使它一个非常合适的人选。但强烈的非线性电流之间的滞后和力等限制了磁阻致动器应用纳米定位。本文提出一种非线性电流控制的配置与使用自适应多层神经网络滞后补偿。仿真结果表明,该磁滞补偿器可有效的克服滞后和有前途的精密控制应用程序。SN - 1687 - 5249你2014/150345 / 10.1155——https://doi.org/10.1155/2014/150345——摩根富林明,控制科学与工程学报PB - Hindawi出版公司KW - ER