TY -的A2 -张,李盟——周,剑盟——咚,Shurong AU -金,浩盟——冯,Bing AU - Wang Demiao PY - 2012 DA - 2012/10/03 TI -灵活的声表面波器件AlN电影聚合物衬底SP - 610160六世- 2012 AB -声表面波装置 c-axis-oriented氮化铝(AlN)压电薄膜聚合物基质可能用于柔性传感器的发展,灵活的微流体应用,微系统和实验室芯片系统。在这个工作中,镍的电影已经成功地沉积在聚合物基质使用直流反应磁控溅射方法在室温下,XRD, SEM和AFM方法表明,沉积压力有利于高度较低 c-axis-oriented电影在聚合物基质。研究对AlN薄薄膜的发展灵活的声表面波器件在聚合物基质启动和实验和模拟结果表明该设备显示的声波速度9000 - 10000 m / s,标明的兰姆波。SN - 1687 - 5249你2012/610160 / 10.1155——https://doi.org/10.1155/2012/610160——摩根富林明,控制科学与工程学报PB - Hindawi出版公司KW - ER