TY -的A2吉田Eri盟——Horibe Hideo AU - Goto, Yousuke PY - 2012 DA - 2012/02/20 TI -环保Resist-Removal流程的开发使用湿臭氧SP - 937928六世- 2012 AB -我们调查与不同化学结构的聚合物和离子注入的消除抵制使用湿的臭氧。移除率碳碳(碳碳双键的聚合物的主链是很高的。这些聚合物的主链可能会分解。移除率碳碳双键的聚合物侧链的低。苯环侧链的改变成羧酸,所以他们溶于水的能力增加。没有碳碳双键的聚合物不删除。B和P的去除离子注入抗拒变得困难增加加速度能量的离子注入。的抵抗塑性变形的硬度是两倍努力nonimplanted抵制应该删除类似nonimplanted抗拒。使用TOF-SIMS,我们澄清了甲酚酚醛清漆树脂的分子被毁,离子注入碳。SN - 1687 - 9422你2012/937928 / 10.1155——https://doi.org/10.1155/2012/937928——摩根富林明-国际高分子科学杂志PB Hindawi出版公司KW - ER