泰,副总裁的A2 -比内蒂西蒙娜盟——Poonthong Wittawat盟——Mungkung Narong AU - Arunrungrusmi,颂猜盟——Yuji领导人Toshifumi AU - Sung) Youl-Moon PY - 2021 DA - 2021/06/12 TI -高性能IZO涂布的宠物的基质致发光装置使用氧等离子体处理SP - 8889002六世- 2021 AB -铟氧化锌(IZO)的薄膜沉积在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)基质不同等离子体功率(从100 W到300 W)使用射频(RF)磁控溅射技术和致发光(EL)设备。IZO电影的信息,这个过程是氧等离子体处理权力使用plasma-enhanced化学气相沉积(PECVD) "系统。这种治疗后,微观结构、电气和光学性质IZO电影观察和报道。结果表明,IZO /宠物电影是捏造的最低电阻率( 2.83 × 10 − 3 Ω · 厘米 ),而显示的光学特性的最大透光率95%在可见区域平滑的形态学和良好的晶体结构,影响等离子体功率300 W的最佳载体浓度( 4.93 × 10 21 c 米 − 3 流动性(42.12厘米)和大厅²分别/ V·sec)。亮度特性和EL效率也调查并显示的等离子体功率300 W最高点84 cd / m²和0.924 lm / W。负责生产的薄膜性能被发现和改善IZO / PET基体的性能,适合于显示设备。SN - 1110 - 662 - 2021/8889002 / 10.1155 x你——https://doi.org/10.1155/2021/8889002——摩根富林明——国际期刊Photoenergy PB - Hindawi KW - ER