TY -的盟Uzum阿卜杜拉盟,神田)的非盟-野口勇,佐藤盟——Nakazawa Yuya盟——Taniwaki Shota盟——Hotta靖AU - Haruyama,祐一盟——Shibayama Naoyuki AU -伊藤,Seigo PY - 2019 DA - 2019/03/17 TI - H₂O / O₂蒸汽旋转涂布退火影响氧化铝薄膜硅太阳能电池钝化的SP - 4604932六世- 2019 AB -铝acetylacetonate-based氧化铝_x介绍了薄膜作为一种低成本、高质量的晶体硅太阳能电池的钝化层。电影由一个旋转涂布方法在p型硅基板在450°C环境空气,O₂或水蒸气(H₂O / O₂15到120分钟。XPS分析证实了氧化铝_x形成和显示界面SiO的高强度_x在氧化铝_x/硅界面加工晶圆。环境H₂O / O₂被发现更有利于引入氧化铝的激活吗_x钝化膜提供高寿命的改进与低热预算。载体寿命测量提供了对称涂布晶片达到119.3 μ年代和248.3 μ年代在环境退火后H₂O / O₂分别为15分钟和120分钟。SN - 1110 - 662 - 2019/4604932 / 10.1155 x你——https://doi.org/10.1155/2019/4604932——摩根富林明——国际期刊Photoenergy PB - Hindawi KW - ER