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研究文章

非晶硅薄膜太阳能电池结果超过10%效率的优化设计

表4

氧化锌薄膜沉积参数。
层 流量(更易/分钟) 压力 加热温度(°C)。 时间(小时) 厚度(nm)
丢在
氧化锌:B 200年 70年 0.54 3托 158年 4.0 70年
丢:diethylzinc。