TY - Jour A2 - Tsikas，D. Au - Lee，Jae Hwan Au - Jia，Chunrong Au - Kim，Yong Doo Au - Kim，Hong Hyun Au - Pham，Tien Thang Au - Choi，Young Seok Au - Seo，Young UnAU - Lee，Ike Woo Py - 2012 DA - 2012/08/23 TI - 一种优化吸附剂采样，其在工业环境中为三甲基硅烷醇的热解吸GC-MS方法SP - 690356 VL - 2012 AB - 三甲基硅烷醇（TMSOH）会造成损伤在半导体行业的扫描仪镜片表面上，需要测量和控制空气传播的TMSOH浓度。该研究开发了热解吸（TD） - GAS色谱（GC） - 散射光谱（MS）方法，用于在职业室内空气中测量痕量TMSOH。实验室方法优化在使用双床管构造时获得最佳性能（100mg Tenax TA之后的100mg羧烯烯569），N-癸烷作为溶剂，TD温度为300℃。优化方法显示出高回收率（87％），令人满意的精度（<尖刺量超过1 ng的15％），良好的线性度（GydF4y2Ba R.GydF4y2Ba 2GydF4y2Ba =GydF4y2Ba 0.9999.GydF4y2Ba ），宽动态质量范围（高达500 ng），低方法检测限（2.8 ng  M.GydF4y2Ba -GydF4y2Ba 3.GydF4y2Ba 对于20-L样品），3-4天储存的可忽略损失。现场研究表现出与实验室中的性能相当，并产生的TMSOH的首次测量，从1.02到27.30  μ.GydF4y2Ba GGydF4y2Ba /GydF4y2Ba M.GydF4y2Ba 3.GydF4y2Ba ，在半导体行业。我们建议未来发展TMSOH和其他硅氧烷的实时监测技术，以便更好地维护和控制半导体晶片制造中的扫描仪镜头。SN - 1687-8760 UR - https://doi.org/10.1155/2012/690356 do - 10.1155 / 2012/690356 JF - 国际分析化学杂志PB - Hindwi Publishing CorporationKW - ER -GydF4y2Ba